學院🩵🧎🏻♀️➡️、部😶🌫️、中心🔓：
為加快建設具有全球影響力的科技創新中心，提升集成電路領域科技創新能力，加快突破集成電路領域關鍵核心技術，上海市科學技術委員會特發布2020年度“科技創新行動計劃”集成電路科技支撐專項項目申報指南。
一、征集範圍
專題一、芯片及其製造裝備🐫、材料與零部件技術
方向1、集成電路製造裝備、材料及零部件
研究目標👨🏿🦳：研製具有國際競爭力的重大集成電路製造裝備及關鍵零部件，突破和掌握集成電路製造高端裝備系統設計、集成和應用關鍵技術，持續提升零部件🏤、材料等配套能力。
研究內容：（1）集成電路高端裝備用關鍵零部件研發與驗證；（2）掩膜版製造用激光直寫設備及納米尺度三維多參數光學檢測技術研發。
執行期限：2020年10月1日到2023年9月30日💆🏿♀️👨🏽🦳。
經費額度：為非定額資助🍡🔏。
申報主體要求：本市獨立法人單位。企業牽頭申報的投入研發經費與申請資助經費之比不低於2:1🤲🏻。優先鼓勵用戶企業牽頭組織申報。
方向2🤲🏽、核心芯片器件🧑🏽✈️、模塊及應用
研究目標：與汽車等優勢產業和應用需求緊密結合，推動產業鏈上下遊協同創新，突破芯片、模塊自主設計、製造和應用關鍵技術🫷🏽。
研究內容：（1）1200V碳化矽MOSFET工藝製造關鍵技術，及芯片模塊開發與應用⏲🎢；（2）矽基氮化镓功率集成電路工藝庫開發🚣♂️、電路設計及應用。
執行期限：2020年10月1日到2023年9月30日。
經費額度：為非定額資助🩻。
申報主體要求：本市企業。企業投入研發經費與申請資助經費之比不低於2:1👵🏼。優先支持工藝製造🚭、芯片設計和系統應用企業聯合申報、協同攻關。
專題二、集成電路共性技術研發
方向1💆🏿♀️、集成電路製造關鍵技術
研究目標：突破集成電路製造工藝模塊開發和整合關鍵瓶頸，掌握具有自主知識產權的工藝技術，支撐先進工藝線建設和量產能力提升。
研究內容👳：（1）面向5G應用CMOS或SiGe超高速射頻工藝及模型庫開發；（2）面向車規級芯片製造的集成電路製造工藝技術提升🚣🏼♀️。
執行期限🚻：2020年10月1日到2023年9月30日📷。
經費額度：為非定額資助。
申報主體要求🟨🧔🏻：本市企業🏞。企業牽頭申報的投入研發經費與申請資助經費之比不低於2:1。
方向2、集成電路測試等平臺服務技術
研究目標🗜：培育和完善集成電路相關研發平臺能力，服務國家戰略科技力量打造。面向未來數據存儲和高速傳輸接口芯片研發😵，發展新型存儲器工藝和接口檢測共性技術🕋。
研究內容：（1）新型存儲器工藝平臺完善及關鍵技術研發；（2）集成電路製造超淺結退火激光關鍵技術研發及工藝研究；（3）高速串行接口芯片檢測技術研發與檢測平臺建設。
執行期限：2020年10月1日到2022年9月30日🤤。
經費額度：為非定額資助。
申報主體要求：本市獨立法人單位🦘。企業牽頭申報的投入研發經費與申請資助經費之比不低於1:1🤴🏼🤽🏼♂️。
專題三🏵👨🏿⚕️、集成電路前瞻技術研究
方向🙏🏻、集成電路新材料、新器件👩🏽🦳🏘、新方法
研究目標：面向未來計算、存儲🪻、傳感等對集成電路新材料🤵🏿♂️、新器件💊、新計算架構📴、新方法等，實現原理突破和原型驗證。
研究內容💯📇：（1）光子計算關鍵器件開發👃🏽、架構研究及原型芯片實現；（2）金屬硫化物等二維原子晶體器件與大尺寸材料製備技術；（3）三維集成電路電磁全波仿真和參數提取技術研究；（4）三維集成電路功耗分析、熱分析和應力分析技術研究；（5）基於人工智能的EDA多目標優化算法研究；（6）研發新一代微波可調無源器件，突破高集成度、寬帶可重構的微波集成電路先進材料和關鍵工藝💠；（7）研發新型刺激響應智能薄膜材料和介觀尺度下結構可重構可瞬變的電子元器件🙍🏻♀️，實現器件性能的集成化驗證🆎，探索集成化智能安全芯片實現；（8）基於CMOS技術的集成生物光電子芯片🦼。
執行期限：2020年10月1日到2022年9月30日。
經費額度：為非定額資助🛥。
申報主體要求：本市獨立法人單位👶。企業牽頭申報的投入研發經費與申請資助經費之比不低於1:1。每條研究內容限支持1項🤶🏻。
二🌈、申報要求
除滿足前述相應條件外🔀，還須符合以下要求：
1.項目申報單位應當是註冊在本市的獨立法人單位👊🏻，具有組織項目實施的相應能力。
2.研究內容已經獲得財政資金支持的，不得重復申報🌅。
3.所有申報單位和項目參與人應遵守科研倫理準則，遵守人類遺傳資源管理相關法規，符合科研誠信管理要求👨🏻🎤。項目責任人應承諾所提交材料真實性，申報單位應當對申請人的申請資格負責，並對申請材料的真實性和完整性進行審核🧝🏻♀️🐈⬛，不得提交有涉密內容的項目申請🐷。
4.申報項目若提出回避專家申請的，須在提交項目可行性方案等書面材料的同時，上傳由申報單位出具公函提出回避專家名單與理由🧒🏽。
5.已作為項目責任人承擔市科委科技計劃在研項目2項及以上者🚶♂️，不得作為項目責任人申報。
6. 項目經費預算編製應當真實、合理𓀀，符合市科委科技計劃項目經費管理的有關要求。
三、申報方式
1.項目申報采用網上申報方式，無需送交紙質材料💂🏻♀️。申請人通過“中國上海”門戶網站（http://www.sh.gov.cn）--一網通辦--利企服務--點擊“上海市財政科技投入信息管理平臺”圖片鏈接進入申報頁面🚵🏽♀️，或者直接通過域名http://czkj.sheic.org.cn/進入申報頁面🚵🏿♂️：
【賬戶註冊】轉入註冊頁面進行申報個人賬號註冊🚴🏽♀️；
【初次填寫】使用申報賬號登錄系統，轉入申報指南頁面，點擊相應的指南專題後Ⓜ️，按提示完成“上海科技”用戶賬號綁定💷，再進行項目申報👩🏼🦰；
【繼續填寫】登錄已註冊申報賬號、密碼後繼續該項目的填報👩🏽🦱。
有關操作可參閱在線幫助。
2.項目網上填報起始時間為2020年6月2日👌🏿，截止時間（含申報單位網上審核提交）為2020年6月19日🗽。
請項目申報人於2020年6月17日15🕵🏿：00前系統中提交申報書。
四、評審方式
采用通訊評審方式👇🏿。
五、立項公示
上海市科委將向社會公示擬立項項目清單👨🏼🦱，接受公眾異議。
六、咨詢電話
服務熱線🍱📑：8008205114（座機）👰🏻、4008205114（手機）
聯系人：邢晨晨
聯系電話：67791237
郵箱：msxingchenchen@126.com
欧陆娱乐
2020年5月26日
